1. 基于Q-MEMS技术的kHz石英晶片开发：建立小型化石英晶片设计与性能预测模型，用于指导晶振的设计和生产工艺整合与优化；研发高精度、高性能、高良率的小型化kHz石英晶片，用MEMS工艺制程建立能够精准分析和预测kHz石英晶片性能的有限元仿真模型，并用于计算设计晶片几何形状、尺寸，电极形状、尺寸、覆盖面积，晶体表面形貌等参数对晶振电学特性、能量耗散、噪声水平等指标的影响；整合MEMS工艺，开发kHz石英晶片的制造工艺流程，实现精确的几何结构与尺寸、高精度的光刻对准和优异的器件表面形貌特征。

2. kHz石英谐振器加工专用设备开发：晶圆裂片机、kHz离子刻蚀微调机、高速全自动真空封焊机、测试打标编带一体机。